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大族激光顯視與半導體裝備事業部
地址：深圳市寶安區福永蠔業路萬延工業區-6棟 大族顯視與半導體（福永地鐵站A出口直行800米）
郵編： 518126
總機：0755-86159293
傳真：0755-86632851
郵箱：hansdsi@hanslaser.com
端子短路環激光切除機
本設備主要應用于TFT- LCD成盒段端子短路環（Shorting Bar）的激光去除加工。加工對象：導電金屬，兼容鋁制程，銅制程。設備特點：
1、專用光纖激光器，固定寬度或寬度可調（定制）。
2、雙Stage設計，兩個加工工位，保證連續工作，提高效率。
3、產品尺寸適應性范圍廣，上述設備型號分別對應18"-57"和46"-75"。
4、載臺自動裝夾定位，并根據CIM下載數據進行完成精定位、自動激光切割，切割同時進行切割效果檢查。
5、隨切即檢，全切割道高速CCD檢查，杜絕漏切及切割不良。
6、光斑自動連續調節50-250um，適應不同的產品。
平臺參數
X軸平臺 | 有效行程 | 1800mm |
重復定位精度 | ±2μm | |
定位精度 | ±5μm | |
最大速度 | 1500mm/s | |
直線度 | ±10μm | |
Y軸平臺 | 有效行程 | 1200mm |
重復定位精度 | ±2μm | |
定位精度 | ±5μm | |
最大速度 | 500mm/s | |
調焦Z軸平臺 | 有效行程 | 50mm |
重復定位精度 | ±2μm | |
固定于Y軸上 | ||
激光器及外光路參數
激光器 | 工作波長 | 1064nm |
平均功率 | 150/200W | |
脈寬 | 10ns | |
重復頻率 | 15KHz | |
脈沖能量穩定性 | <3%rms | |
試用壽命 | >8000H | |
光路 | 整形后光斑 | 3mm*3mm |
光斑Slit調節 | 50~250μm | |
光斑重復精度 | ±5μm | |
切割速度 | >200mm/s |
切割前后效果圖：
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