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大族激光顯視與半導體裝備事業部
地址：深圳市寶安區福永蠔業路萬延工業區-6棟 大族顯視與半導體（福永地鐵站A出口直行800米）
郵編： 518126
總機：0755-86159293
傳真：0755-86632851
郵箱：hansdsi@hanslaser.com
激光剝離機
適用于面板廠柔性OLED生產中將柔性顯示模組與玻璃基板激光剝離的技術和成套設備，可滿足國內企業的生產需求，同時也打破國內本行業的國際壟斷。設備型號：
HAN’S DSI ELLOG6
設備特點：
1. 本設備準分子激光通過光路轉換后，其最終 line beam可達到750*0.25mm，基本可以滿足當今國內面板廠所有尺寸的產品需求，準分子激光對beam profile、均勻性和能量密度均有嚴格要求。
2. 設備采用剛性及穩定性優越的大理石結構，長行程運動機構采用國際先進的特殊裝置取代了傳統的線性導軌裝置，可有效減小運動摩擦，避免粉塵顆粒的產生。
3. 密封性良好的Chamber，科學合理的氣體管路設計，使得設備內部擁有較高的潔凈度等級可確保產品良率。
設備參數：
● X軸行程1750mm
● Y軸行程2750mm
● Z軸行程50mm
● T軸定位精度0.2゜
● 速度0--400 mm/s
● 定位精度±0.005mm
● 重復定位精度±0.002mm
實際效果圖：
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